產(chǎn)品簡(jiǎn)介

UNIXX SA20/30半自動(dòng)旋涂?jī)x可提供出色的涂層均勻性和可重復(fù)性，特別是適用于薄涂層的旋涂，支持最大 ?200 (?300) mm 的晶圓或者230mm*230mm的方片，并可配置用于旋涂、邊緣去膠、清洗和干燥模組。

產(chǎn)品特色

÷ 開(kāi)放式工作腔

÷ 圓形晶圓最大可達(dá)?200 (?300) mm

÷ 方形襯底最大可達(dá)150x 150 (230 x 230) mm

÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer和BCB凸塊材料

÷ 易于清潔和維護(hù)

÷ 性?xún)r(jià)比高

÷ 手動(dòng)裝卸

÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復(fù)合材料

÷ 1x點(diǎn)膠臂，最多6條管線(xiàn)

÷ 可選不同類(lèi)型的噴嘴

÷ 直驅(qū)無(wú)刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)

÷ 帶防濺環(huán)，更換簡(jiǎn)單

÷ 真空或低接觸卡盤(pán)或邊緣夾持卡盤(pán)可選

技術(shù)數(shù)據(jù)

÷ 襯底尺寸: 最大可達(dá)?200mm (?8 inch)或150 x 150 mm (6 x 6 inch)

         最大可達(dá)?300mm (?12 inch)或230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速: 最大10.000rpm，步長(zhǎng)1rpm，程序控制

÷ 電機(jī)加速: 最大40.000rpm/s，步長(zhǎng)1 rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1到999.9 秒,步長(zhǎng)0.1s

÷ 工藝腔體材料:PP 

÷ 工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋